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SEM，EDS，XRD的区别，SEM是扫描电镜，EDS是扫描电镜上配搭的⼀个⽤于微区分析成分的配件——能谱仪，是⽤来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电⼦显微镜与透射电⼦显微镜的使⽤。XRD是X射线衍射仪，是⽤于物相分析的检测设备。
SEM⽤于观察标本的表⾯结构，其⼯作原理是⽤⼀束极细的电⼦束扫描样品，在样品表⾯激发出次级电⼦，次级电⼦的多少与电⼦束⼊射⾓有关，也就是说与样品的表⾯结构有关，次级电⼦由探测体收集，并在那⾥被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放⼤器转变为电信号来控制荧光屏上电⼦束的强度，显⽰出与电⼦束同步的扫描图像。图像为⽴体形象，反映了标本的表⾯结构。
EDS的原理是各种元素具有⾃⼰的X射线特征波长，特征波长的⼤⼩则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪就是利⽤不同元素X射线光⼦特征能量不同这⼀特点来进⾏成分分析的。
XRD是利⽤衍射原理，精确测定物质的晶体结构,织构及应⼒,精确的进⾏物相分析，定性分析，定量分析。
通俗来总结，SEM是⽤来看微观形貌的，观察表⾯的形态、断⼝、微裂纹等等；EDS则是检测元素及其分布，但是H元素不能检测；XRD观察的是组织结构，可以测各个相的⽐例、晶体结构等。
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